微影术系统及其使用方法

摘要

一种微影术系统及其使用方法，微影术系统包括一负载锁定腔室，此负载锁定腔室包括配置用以接收遮罩的开口；曝光模块，其配置用以经由使用遮罩，使半导体晶圆曝露于光源；及清洗模块，其嵌入在此微影术工具内，此清洗模块配置用以自遮罩清洗碳粒子。本发明内容可提供一种用于高级微影术技术中，保持遮罩干净且无缺陷的方法。此方法所形成的干净无缺陷遮罩，可提升微影术工艺的良率与精准度。

主权项

一种微影术系统，其特征在于，包括：一负载锁定腔室，其包括一配置用以接收一遮罩的开口；一曝光模块，其配置用以经由使用该遮罩使一半导体晶圆曝光至一光源；以及一清洗模块，其嵌入在该微影术工具内，该清洗模块配置用以自该遮罩清洗碳粒子。