用于平版印刷加工的旋涂碳组合物

摘要

本文所述的发明涉及旋涂碳材料，其包括在溶剂系统中的聚酰胺酸组合物和交联剂。所述材料可用于三层照相平版印刷工艺。用发明性组合物制备的膜不溶于常用于平版印刷材料的溶剂，例如但不限于，PGME、PGMEA和环己酮。但是，所述膜可溶于照相平版印刷中常用的显影剂。在一种实施方式中，可在高温下加热膜，以改善用于高温加工的热稳定性。与实施方式无关，所述材料可施涂至平坦的/平面表面或者图案化表面。优选地，在使用氟碳蚀刻把图案转移至硅基片时，所述材料呈现抗扭曲性。

主权项

一种形成微电子结构的方法，所述方法包括：提供具有表面的基片；任选的在所述基片表面上形成一种或更多种中间层，如果存在一种或更多种中间层，那么在所述基片表面上有最上的中间层；如果存在中间层则把一种组合物施涂到所述最上的中间层，或者，如果不存在中间层则施涂至所述基片表面，所述组合物包含溶解或分散在溶剂体系中的聚酰胺酸；加热所述组合物来形成富碳层，所述富碳层是可溶于显影剂的，且在400℃的温度下保持10分钟时具有小于10％的重量损失。