涡电流传感器

摘要

配置于基板的附近的涡电流传感器(1‑50)具有芯部(1‑60)和线圈部(1‑61)。芯部(1‑60)具有共通部(1‑65)、连接于共通部(1‑65)的四根悬臂梁状部(1‑66～69)。第一悬臂梁状部(1‑66)以及第二悬臂梁状部(1‑67)的端部彼此接近地邻接。第三悬臂梁状部(1‑69)以及第四悬臂梁状部(1‑68)的端部彼此接近地邻接。在共通部(1‑65)配置有励磁线圈。配置于第一悬臂梁状部(1‑66)的第一检测线圈(1‑631)、配置于第二悬臂梁状部(1‑67)的第二检测线圈(1‑632)检测涡电流。在第三悬臂梁状部(1‑69)配置有第一虚拟线圈(1‑642)，在第四悬臂梁状部(1‑68)配置有第二虚拟线圈(1‑641)。

主权项

一种涡电流传感器，该涡电流传感器配置在形成有导电性膜的基板的附近，该涡电流传感器的特征在于，具有：芯部和线圈部，所述芯部具有共通部和连接于所述共通部的端部的四根悬臂梁状部，相对于所述共通部，第一所述悬臂梁状部以及第二所述悬臂梁状部配置在第三所述悬臂梁状部以及第四所述悬臂梁状部的相反侧，所述第一悬臂梁状部以及所述第三悬臂梁状部配置于所述共通部的一方的端部，所述第二悬臂梁状部以及所述第四悬臂梁状部配置于所述共通部的另一方的端部，所述线圈部具有：励磁线圈，所述励磁线圈配置于所述共通部，能够在所述导电性膜形成涡电流；检测线圈，所述检测线圈配置于所述第一悬臂梁状部以及第二所述悬臂梁状部中的至少一方，能够检测形成于所述导电性膜的所述涡电流；以及虚拟线圈，所述虚拟线圈配置在第三所述悬臂梁状部以及第四所述悬臂梁状部中的至少一方，从所述第一悬臂梁状部以及所述第二悬臂梁状部分别与所述共通部连接的部分远离的所述第一悬臂梁状部以及所述第二悬臂梁状部的端部彼此接近地邻接，从所述第三悬臂梁状部以及所述第四悬臂梁状部分别与所述共通部连接的部分远离的所述第三悬臂梁状部以及所述第四悬臂梁状部的端部彼此接近地邻接。