发明名称 |
一种物理气相沉积设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种物理气相沉积设备,所述箱体通过支柱与万向轮固定连接,所述箱体的正面上方镶嵌有显示屏,所述箱体正面的下方设有压力表,所述箱体的内部底端设有真空泵,所述真空泵通过连接管与真空室连通,所述真空室的侧壁上设有烘干器,所述真空室的底部从左到右依次设有雾化器、旋转式蒸发器和清洗器,所述旋转式蒸发器通过导线与PLC控制器电性连接,所述真空室的顶部设有基片槽,所述真空泵、显示屏和烘干器分别通过导线与PLC控制器电性连接,所述清洗器通过雾化器与PLC控制器电性连接。该实用新型设计科学合理、不仅沉积的效率高,而且比较均匀,可以实现该设备自由移动,不受工作地点的约束,操作简单,实用性强,值得大力推广。 |
申请公布号 |
CN205999472U |
申请公布日期 |
2017.03.08 |
申请号 |
CN201620867259.0 |
申请日期 |
2016.08.12 |
申请人 |
肖姝萌;梁祎博;郭俊 |
发明人 |
肖姝萌;梁祎博;郭俊 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种物理气相沉积设备,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)通过支柱(6)与万向轮(4)固定连接,所述箱体(1)的正面上方镶嵌有显示屏(8),所述箱体(1)正面的下方设有压力表(5),所述箱体(1)的内部底端设有真空泵(12),所述真空泵(12)通过连接管(11)与真空室(16)连通,所述真空室(16)的侧壁上设有烘干器(9),所述真空室(16)的底部从左到右依次设有雾化器(10)、旋转式蒸发器(14)和清洗器(15),所述旋转式蒸发器(14)通过导线与PLC控制器(13)电性连接,所述真空室(16)的顶部设有基片槽(17),所述真空泵(12)、显示屏(8)和烘干器(9)分别通过导线与PLC控制器(13)电性连接,所述清洗器(15)与PLC控制器(13)电性连接。 |
地址 |
411200 湖南省湘潭市湘潭县易俗河镇富豪阁社区二组 |