发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本公开提供了一种半导体器件,该半导体器件包括:块分隔器,包括半导体膜和多层绝缘膜,其中,多层绝缘膜围绕半导体膜;存储块层叠,通过块分隔器彼此分开,每个存储块层叠包括交替地层叠的层间绝缘膜和导电图案,其中,导电图案耦接到存储单元;以及通道结构,穿过存储块层叠并且电耦接到存储单元。
申请公布号 CN106486487A 申请公布日期 2017.03.08
申请号 CN201610121272.6 申请日期 2016.03.03
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 李南宰
分类号 H01L27/115(2017.01)I 主分类号 H01L27/115(2017.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 李少丹;许伟群
主权项 一种半导体器件,包括:块分隔器,包括半导体膜和多层绝缘膜,其中,多层绝缘膜围绕半导体膜;存储块层叠,通过块分隔器彼此分开,每个存储块层叠包括交替地层叠的层间绝缘膜和导电图案,其中,导电图案耦接到存储单元;以及通道结构,穿过存储块层叠并且电耦接到存储单元。
地址 韩国京畿道