发明名称 |
基板搬送装置 |
摘要 |
The present invention presents a substrate transfer apparatus comprising: a tray on which a substrate is loaded; a magnetic transfer unit provided at a lower side of the tray, magnetically levitating the tray, and transferring the tray by magnetic force; a guide unit for guiding the transfer of the tray by not making contact with the tray; and an interval maintenance means provided at at least one region between the magnetic transfer unit and the guide unit. |
申请公布号 |
JP6092349(B2) |
申请公布日期 |
2017.03.08 |
申请号 |
JP20150222115 |
申请日期 |
2015.11.12 |
申请人 |
アルバック コリア リミテッドULVAC KOREA,LTD. |
发明人 |
キム ジュングン;キム スンギル;キム ナムフン;キム ジョンデ;コ ウォンイル;ソ ビョンホ;ソン スンギョン;イ ギタエ;イ サンホ;チョン ミンホ;ハン ウンヨン |
分类号 |
H01L21/677;B65G49/06;B65G54/02 |
主分类号 |
H01L21/677 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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