用于改善的结晶性的盖层

摘要

提供了用于锌黄锡矿Cu‑Zn‑Sn‑(Se,S)膜的制造以及基于这些膜的改进的光伏器件的技术。在一个方面,提供了一种制造化学式为Cu_2‑xZn_1+ySn(S_1‑zSe_z)_4+q的锌黄锡矿膜的方法，其中0≤x≤1；0≤y≤1；0≤z≤1；且‑1≤q≤1。该方法包括如下步骤。提供衬底。在所述衬底上形成体前体层，所述体前体层包含S和Se中的至少一种以及Cu、Zn、Sn。在所述体前体层上形成盖层，所述盖层包含Sn、S和Se中的至少一种。在足以产生下述锌黄锡矿膜的条件下对所述体前体层和所述盖层进行退火：对于所述膜的任何给定部分，所述锌黄锡矿膜具有的x、y、z和q值从该膜整体的x、y、z和q的平均值偏离不到20%。

主权项

一种制造化学式为Cu_2‑xZn_1+ySn(S_1‑zSe_z)_4+q的锌黄锡矿膜的方法，其中0≤x≤1；0≤y≤1；0≤z≤1；且‑1≤q≤1，该方法包括如下步骤：提供衬底；在所述衬底上形成体前体层，所述体前体层包含S和Se中的至少一种以及Cu、Zn、Sn；在所述体前体层上形成盖层，所述盖层包含Sn、S和Se中的至少一种；以及在足以产生下述锌黄锡矿膜的条件下对所述体前体层和所述盖层进行退火：对于所述锌黄锡矿膜的除了顶部和底部100nm之外的任何给定部分，所述锌黄锡矿膜具有的x、y、z和q值从该膜整体的x、y、z和q的平均值偏离不到20％，其中，在形成所述体前体层之后且在形成所述盖层之前，通过所述体前体层的组分确定所述盖层的目标组分以及厚度。