| 发明名称 | 电子部件搬运装置以及电子部件检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供电子部件搬运装置以及电子部件检查装置，能够将电子部件高精度地控制在目的温度。电子部件搬运装置具有：臂部(50)，其能够搬运多个电子部件；分配部，其设置于臂部(50)，能够将冷却多个电子部件的制冷剂向多个流路分配；以及收集部，其设置于臂部(50)，能够从多个流路收集对多个电子部件进行了冷却之后的制冷剂。另外，电子部件检查装置具有：臂部(50)，其能够搬运多个电子部件；分配部，其设置于臂部(50)，能够将冷却多个电子部件的制冷剂向多个流路分配；收集部，其设置于臂部(50)，能够从多个流路收集对多个电子部件进行了冷却之后的制冷剂；以及检查部，其检查电子部件。 | ||
| 申请公布号 | CN106483446A | 申请公布日期 | 2017.03.08 |
| 申请号 | CN201610756301.6 | 申请日期 | 2016.08.29 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 桐原大辅;前田政己;下岛聪兴;高田冬生 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 青炜;尹文会 |
| 主权项 | 一种电子部件搬运装置，其特征在于，具有：臂部，其能够搬运多个电子部件；分配部，其设置于所述臂部，能够将冷却所述多个电子部件的制冷剂向多个流路分配；以及收集部，其设置于所述臂部，能够从多个流路收集对所述多个电子部件进行了冷却之后的制冷剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||