微细机械装置及其制造方法

摘要

本发明的微细机械装置及其制造方法可更容易地防止在各种环境下使用的微细机械装置中的粘连。微细机械装置包括可动部(103)，所述可动部(103)通过支承部(102)支承在基板(101)上，在可动区域内与基板(101)隔开配置，且能够在可动区域内朝基板(101)方向位移。该微细机械装置包括第1凸部(104)，所述第1凸部(104)形成于在可动区域内相对的基板(101)的面(101a)上，具有与可动部(103)的面(103a)相对的平坦的上表面(104a)。该微细机械装置包括：多个第2凸部(105)，它们形成于第1凸部(104)的上表面(104a)；以及多个第3凸部(106)，它们形成于可动部(103)的面(103a)的与第1凸部(104)相对的区域(122)内，大小与第2凸部(105)相同。

主权项

一种微细机械装置的制造方法，所述微细机械装置包括可动部，所述可动部通过支承部支承在基板上，在可动区域内与所述基板隔开配置，且能够在所述可动区域内朝所述基板方向位移，该微细机械装置的制造方法的特征在于，包括：第1工序，在所述可动区域内相对的所述基板及所述可动部中的其中一方的表面形成第1凸部，所述第1凸部具有与所述基板或所述可动部中的另一方的表面相对的平坦的上表面；第2工序，在所述第1凸部的所述上表面形成第1材料膜，所述第1材料膜含有构成所述基板及所述可动部的材料的成分；第3工序，加热并煅烧所述第1材料膜，由此使所述第1材料膜凝集及晶体化，从而在所述第1凸部的所述上表面形成多个第2凸部；第4工序，在所述基板或所述可动部中的另一方的表面的与所述第1凸部相对的区域内形成第2材料膜，所述第2材料膜含有构成所述基板及所述可动部的材料的成分；以及第5工序，加热并煅烧所述第2材料膜，由此使所述第2材料膜凝集及晶体化，从而在所述区域内形成大小与所述第2凸部相同的多个第3凸部。