一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励的激波激励装置

摘要

本发明公开了一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励的激波激励装置，包括设在基板上的手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台上设有针电极单元，其针电极指向微结构单元；微结构单元包括安装套，其安装孔内设有弹性底座和加热环体，弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台，其外侧大孔内镶装有板电极，弹性底座内侧通过微结构压板压装MEMS金属微结构；在加热环体上插入有电加热棒；安装套内通过罩体和弹性底座形成一个密闭空间，MEMS金属微结构位于该密闭空间内；针电极和板电极分别与高压电容电联接，高压电容两极分别联接至高压电源正负极。优点是结构安装牢固，操作简便安全，温度控制精准，便于测试MEMS金属微结构的动态特性参数。

主权项

一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励的激波激励装置，包括基板，其特征是：在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有针电极单元；所述针电极单元包括用于连接Z轴溜板的直角连接板，在直角连接板上设有二块相互平行的支撑板，在二块支撑板之间设有平行布置的导向轴和丝杠并在导向轴上套设有传动板，传动板与丝杠之间通过丝母连接，在其中一块支撑板外侧设有与丝杠同轴连接的步进电机，在传动板上端通过陶瓷管绝缘安装有针电极，针电极指向设置在支座上端的微结构单元；所述微结构单元包括安装在支座上端的安装套，在安装套内设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯处通过圆周均布的长螺栓固定有弹性底座和加热环体，弹性底座夹持在加热环体与安装孔内的环形阶梯之间，弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台，弹性底座的中心孔为阶梯状，其外侧大孔内通过绝缘套镶装有板电极，弹性底座内侧通过微结构压板压装MEMS金属微结构且在靠近MEMS金属微结构处插入有温度传感器；在加热环体上圆周均布插入有电加热棒，电加热棒通过设在加热环体外侧的限位压板限位；在安装套上位于其安装孔的大径一侧可拆卸连接有罩体，在罩体中心镶装有石英玻璃板，所述安装套内的安装孔通过镶装石英玻璃板的罩体和弹性底座形成一个密闭空间，所述MEMS金属微结构位于该密闭空间内；在罩体上设有一个电气接头，所述电加热棒分别与电气接头电联接；所述针电极和板电极分别与高压电容的两极电联接，在针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。