一种同压供给定比配制混合气体的装置及方法

摘要

本发明公开了一种同压供给定比配制混合气体的装置和方法，包括储气罐、同压供给装置、待混气体流量调节支路和气流混合室，所述储气罐内的待混合气体先分别存储在同压供给装置内同压，再经待混气体流量调节支路分别定比通入气流混合室内混合。本发明还提供利用上述装置进行制备混合气体的方法。利用本装置和方法，可以对进行任意组分混合气体进行定比配制，保证了待混气体混合前具有相同压力，制备的混合气体浓度更接近目标浓度，并实现了调试过程中使用的气体的重复利用。

主权项

一种同压供给定比配制混合气体的装置，其特征在于：包括储气罐(2)、同压供给装置(3)、待混气体流量调节支路和气流混合室(12)，所述储气罐(2)内的待混合气体先分别存储在同压供给装置(3)内同压，再经待混气体流量调节支路分别定比通入气流混合室(12)内混合；所述同压供给装置(3)内设有同压隔板(6)，分隔同压供给装置(3)成为两个相互独立密封的腔室，两个独立腔室内分别设有接触传感器(4)，所述同压隔板(6)可在两个接触传感器(4)之间自由滑动。