电弧式大气电浆装置

摘要

一种电弧式大气电浆装置。此电弧式大气电浆装置包含第一电极、第二电极以及喷嘴。第一电极配置以连接电源供应器。第二电极具有腔室且接地，其中第一电极位于腔室中。喷嘴接合于该第二电极的底部，且具有至少二喷嘴通道。这些喷嘴通道与腔室连通。由于电浆喷嘴包含多个喷嘴通道，因此可增加电浆喷出量，并可使得电浆处理路径更为致密，而可增加电浆扫描时的处理面积。

主权项

一种电弧式大气电浆装置，其特征在于，该电弧式大气电浆装置包含：一第一电极，配置以连接一电源供应器；一第二电极，具有一腔室且接地，其中该第一电极位于该腔室中；以及一喷嘴，接合于该第二电极的底部，且具有至少二喷嘴通道，其中所述喷嘴通道与该腔室连通。