研磨用組成物

摘要

本願発明は、下記条件（１）および（２）の少なくとも１つを満たす官能基が表面に固定化されてなるシリカと、ｐＨ調整剤とを含む研磨用組成物；条件（１）：前記官能基がアミノ基を有する条件（２）：前記官能基がハロゲノ基を有するの発明であり、本願発明の研磨用組成物は、Ｓｉ含有材料の研磨レートを十分に制御することができるものである。