パーティクルカウンタ

摘要

【課題】小型でパーティクルを安定して精度よく検出出来るパーティクルカウンタを提供すること。【解決手段】楕円ミラーの第１の焦点を囲み試料気体の流入孔、試料気体の流出孔、光ビームの入射孔及び光ビームの吸収孔を楕円ミラーに設け、第１の焦点の近傍で試料気体の流路と光ビームが直交し、第１の焦点近傍で発生する散乱光を検出する受光部を第２の焦点近傍に設置することで試料気体に含まれるパーティクルを効率よく検出できるパーティクルカウンタを提供する。【選択図】図１