| 摘要 |
【課題】 平滑性及び均一性が良好な塗布膜を形成可能で、塗布液の使用効率が高い塗布装置を提供する。【解決手段】 軸が鉛直方向に延びるように支持された円筒状又は円柱状の被塗布部材の周囲に被塗布部材の軸と同軸に配置された円環状の塗布ヘッドを鉛直下方に移動させで被塗布部材に塗布液を塗布する塗布装置であって、塗布ヘッドは、塗布ヘッドの鉛直上方側に配置されるリアリップと、リアリップよりも鉛直下方側でリアリップに対向して配置されるフロントリップと、リアリップとフロントリップとの間から被塗布部材に塗布液を吐出する吐出口とを含み、リアリップは逆テーパ形状を有する。【選択図】 図４ |
