Tiegel zur Herstellung von Silicium-Ingots, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Silicium-Ingot

摘要

Die Erfindung betrifft einen Tiegel zur Herstellung von Silicium-Ingots mit einem Tiegelboden und Tiegelwänden, wobei der Tiegelboden zumindest bereichsweise eine Siliciumnitrid enthaltende Beschichtung aufweist, die einen quadratischen Mittenrauwert von mindestens 10 µm und eine Schichtdicke von mindestens 30 µm besitzt. Ebenso betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Beschichtung von Tiegeln, die zur Herstellung von Silicium-Ingots geeignet sind und derart hergestellte Silicium-Ingots.