| 摘要 |
ノイズの影響を軽減して、検出する静電容量値の精度を向上させる。ドライブ配線群（例えば複数のドライブ配線ＤＬ）を２分割したドライブ配線層５１およびドライブ配線層５２と、センス配線群（例えば複数のセンス配線ＳＬ）を２分割したセンス配線層５４およびセンス配線層５５とに上下に分け、これらのドライブ配線層とセンス配線層との間にグランド・プレーン層５３を介在させ、ノイズを除去するために隣接センス配線ＳＬから差分を取ることから、複数のセンス配線ＳＬの連続性が失われる配列番号の切れ目の端（ここでは第５１番目のセンス配線ＳＬ）のいずれかを上下層に共に配置している。【選択図】図３ |
