| 发明名称 |
研磨用組成物およびその製造方法 |
| 摘要 |
表面品質への影響を抑えつつ研磨レートを向上させることのできる研磨用組成物を提供する。砥粒、水および下記一般式（Ａ）で表される第４級アンモニウムカチオンを含む研磨用組成物が提供される。【化１】 |
| 申请公布号 |
JPWO2015005433(A1) |
申请公布日期 |
2017.03.02 |
| 申请号 |
JP20150526403 |
申请日期 |
2014.07.10 |
| 申请人 |
株式会社フジミインコーポレーテッド |
发明人 |
土屋 公亮;川▲崎▼ 雄介;井出 匠学;高橋 洋介 |
| 分类号 |
C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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