摘要 |
測定対象とするガスを収容するセルと、任意の波長の中赤外光を選択してセル内に出射する光源と、セル内を透過した中赤外光を検出する検出器とを備え、ガス中に含まれる二種以上のガス成分を測定対象とし、測定対象とするガス成分の吸収スペクトルに同調させた波長の中赤外光を光源から出射し、検出器で検出した光強度からガス成分の濃度を求めるガス分析装置であって、測定対象とするそれぞれのガス成分に対する波長の中赤外光の測定積算時間を設定し、測定積算時間に対応して光源の出射時間又は検出器の検出時間の少なくとも一方を制御することで、複数の波長の中赤外光を用いて、ガス中に含まれる複数のガス成分を効率よく測定する装置を提供する。 |