| 摘要 |
【課題】レジスト材料の種類によらずとも、ＬＷＲが小さく波長限界を超える微細なパターンを形成可能な方法を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物を用いて形成されたプレパターンに第１アルカリ溶液を接触させる工程と、上記第１アルカリ溶液を接触させたプレパターンを加熱する工程と、上記加熱されたプレパターンを水又は第２アルカリ溶液で洗浄する工程とを備え、上記感放射線性樹脂組成物が、第１アルカリ溶液との接触及び加熱によって上記水又は上記第２アルカリ溶液に対する溶解性が変化する官能基を有する重合体を含有するパターン形成方法である。上記溶解性が変化する官能基は、ラクトン環基、カーボネート環基及びスルトン環基であることが好ましく、ラクトン環基であることがより好ましい。上記重合体が酸解離性基をさらに有し、上記感放射線性樹脂組成物が感放射線性酸発生体をさらに含有することが好ましい。【選択図】図１ |
