| 摘要 |
【課題】シート抵抗率及び反射率が共に低く、かつ温水浸漬試験に対する耐久性に優れるアルミニウム合金窒化薄膜を含むアルミニウム合金窒化積層薄膜の提供。【解決手段】Ｃｕを５．０原子％以上と窒素を３０〜４５原子％とを含み、残部はＡｌ及び不可避不純物からなる薄膜、又はＣｕを５．０〜２０原子％と窒素とを含み、かつ、Ｙ、Ｓｉ、Ｎｉ、Ｔｉ又はＮｄから選ばれる元素の少なくとも１種を下記含有量の範囲で含み、残部はＡｌ及び不可避不純物からなる薄膜からなるアルミニウム合金窒化薄膜と、単膜としての電気抵抗率が１５μΩ・ｃｍ以下である金属電極薄膜とを含むアルミニウム合金窒化積層薄膜。（含有量）Ｙ：１．０〜５．０原子％以下、Ｓｉ：０．５〜１０．０原子％以下、Ｎｉ：３．０〜３０．０原子％以下、Ｔｉ：１．０〜６．０原子％以下、Ｎｄ：１．０〜１０．０原子％以下【選択図】図８ |
