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发明名称 MOISTURE-REPELLENT PROTECTIVE LAYER
摘要 The invention relates to a piezoceramic multi-layered actuator having a moisture-repellent protective layer, and to a method for producing same.
申请公布号 WO2017032868(A1) 申请公布日期 2017.03.02
申请号 WO2016EP70163 申请日期 2016.08.26
申请人 CERAMTEC GMBH 发明人 SCHREINER, Hans-Jürgen;EINHELLINGER-MÜLLER, Tanja;SCHMIDT, Tobias;MOOS, Ralf;SCHUBERT, Michael;BINDIG, Reiner
分类号 H01L41/053;H01L41/23 主分类号 H01L41/053
代理机构 代理人
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