摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Gassensor (1) mit wenigstens einem integrierten Schaltkreis (10) und mit wenigstens einer gassensitiven Schicht (11), wobei die gassensitive Schicht (11) mit dem integrierten Schaltkreis (10) elektrisch kontaktiert ist, und wobei die gassensitive Schicht (11) zur Sensierung der Konzentration eines bestimmten Gases ausgebildet ist und wobei der integrierte Schaltkreis (10) zur Bereitstellung eines elektrischen Signals basierend auf der sensierten Konzentration des Gases mittels der gassensitiven Schicht (11) ausgebildet ist. Erfindungsgemäß ist der integrierte Schaltkreis (10) wenigstens teilweise mit einer Schutzmasse (12) umschlossen, sodass ein Sensorkörper (13) gebildet ist, wobei auf einer ersten Seite (14) des Sensorkörpers (13) wenigstens teilflächig elektrisch leitende Lagen (15) ausgebildet sind, wobei auf der ersten Seite (14) weiterhin die gassensitive Schicht (11) angeordnet ist, und wobei auf einer der ersten Seite (14) gegenüberliegenden zweiten Seite (16) des Sensorkörpers (13) elektrisch leitfähige Strukturen umfassend wenigstens ein Kontaktpad (17) vorgesehen sind, und wobei die elektrisch leitenden Lagen (15) auf der ersten Seite (14) mit dem wenigstens einen Kontaktpad (17) auf der gegenüberliegenden zweiten Seite (16) elektrisch kontaktiert sind. |