发明名称 Beleuchtungsoptik für eine Projektionsbelichtungsanlage
摘要 Zur Erzeugung einer feldabhängigen Beleuchtungspupille mit einem Beleuchtungssystem (2) einer Projektionsbelichtungsanlage (1) werden komplementär ausgebildete, verlagerbare Feldfacetten (19i) symmetrisch angeordneten Pupillenfacetten (27i) zugeordnet.
申请公布号 DE102017200658(A1) 申请公布日期 2017.03.02
申请号 DE201710200658 申请日期 2017.01.17
申请人 Carl Zeiss SMT GmbH 发明人 Endres, Martin
分类号 G03F7/20;G02B5/08;G02B26/08 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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