| 摘要 |
従来は隔膜交換に際して必要になるコストや作業の利便性などが十分考慮されていなかったため、装置が使いにくいものとなっていた。本発明では、真空空間と大気圧空間とを隔離する隔膜（１０）を通過して一次荷電粒子線を大気圧空間に置かれた試料上に照射する荷電粒子線装置に設置される隔膜取付部材（１５５）は、ＴＥＭ用メンブレンが取り付けられる隔膜設置部位と、荷電粒子線装置の筐体に取り付けられる筐体固定部位と、を備える。また、この隔膜設置部位は隔膜（１０）が保持された土台（９）の位置決めをする位置決め構造（１５５ａ）を有する。 |
