| 摘要 |
脆性材料から構成されるワークに対しても、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行うことができるダイシング装置及びダイシング方法を提供する。ワークを切断加工するダイシング装置において、ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体（８０）によって円盤状に構成され、外周部の周方向に連続した微小切れ刃を有するダイシングブレード（２６）と、ダイシングブレード（２６）を回転させるスピンドル（回転機構）と、ダイシングブレード（２６）によってワークに切り込み深さを与えながら、ワークをダイシングブレード（２６）に対して相対的に移動させる移動機構と、を備える。 |
