| 发明名称 |
マルチゾーン可変電力密度ヒーター、そのヒーターを含む装置及びそのヒーターを使用する方法 |
| 摘要 |
ヒーターが複数のゾーンを備え、少なくとも２つのゾーンが互いに異なる可変電力密度勾配を有する。異なる可変電力密度勾配のゾーンを有するヒーターは、ヒーターの１つ又は複数の方向においてヒーターの熱出力及び温度プロファイルを制御することを可能にする。ヒーターは、例えば、垂直方向において温度プロファイルを制御するために用いることができる。【選択図】図１Ａ |
| 申请公布号 |
JP2017506206(A) |
申请公布日期 |
2017.03.02 |
| 申请号 |
JP20160553434 |
申请日期 |
2015.02.20 |
| 申请人 |
モーメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・インク |
发明人 |
ル ジョン ハオ;ボーセール ロイット アルン;モア ジャクリーン エム．;ナタラジャン スダルシャン;レイズ ジョセフ パトリック |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/42 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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