複合基板、その製造方法、機能素子および種結晶基板

摘要

複合基板は、多結晶セラミック基板、多結晶セラミック基板に対して直接接合されているシリコン基板、シリコン基板上に気相法によって設けられた１３族元素窒化物からなる種結晶膜、およびこの種結晶膜上にフラックス法によって結晶成長した窒化ガリウム結晶層を備える。