| 摘要 |
【課題】複数のプロセスを経て製造される工程計画立案対象の複数のシリコンウェーハ製品の製造において、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を有する製造ラインに対して、製造する複数のシリコンウェーハ製品全体について適切な工程計画を提示する。【解決手段】工程計画立案装置１は、データベースから品質情報を取得して、生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハ製品の品質分布を統計学的に推定する生産装置組合せ別品質分布推定部１３２と、生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハ製品の品質分布、および、前記シリコンウェーハ製品ごとに要求される品質規格に基づき、工程計画立案対象のシリコンウェーハ製品全体の歩留りを最大化するように、それぞれのシリコンウェーハ製品に対する生産装置の組合せを判定する製品生産装置組合せ判定部１３４とを備える。【選択図】図２ |
