| 摘要 |
【課題】力検出性能を向上させた液中原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】液体の中に置かれた試料を観察するための液中原子間力顕微鏡１０は、先端に探針部１２を有するカンチレバー１１と、試料２０と探針部１２の先端との相互作用力によるカンチレバー１１の変位を計測する変位計測部１３と、変位計測部１３で計測された変位に基づいて試料２０と探針部１２の先端との距離を一定に維持する制御を行うフィードバック制御部１４と、開口部２３ａを有し、液体２１の液面を覆う薄膜２３とを備え、探針部１２は、開口部２３ａを貫通し、探針部１２の先端だけが液体２１に浸漬するように、カンチレバー１１に固定されている。【選択図】図７ |
