| 摘要 |
【課題】撮像装置の光電変換層に用いられる層に結晶性を有するセレンを用いる場合において、セレンの結晶形成を制御し、画素毎に均一な結晶粒を有する結晶セレン膜を得ることにより画素毎の撮像性能のばらつきを防ぐ。【解決手段】第１の電極上の少なくとも一部に結晶性セレンを有する第１の膜を設ける工程と、非晶質セレンを有する第２の膜を、第１の膜に接して設ける工程と、第２の膜を加熱して、非晶質セレンを結晶化する工程と、第２の膜上に第２の電極を設ける工程と、を有する光電変換素子の製造方法である。なお、第２の膜は、光電変換層としての機能を有していてもよい。また、第１の膜は、種結晶としての機能を有し、第２の膜の前記結晶化は、第２の膜の第１の膜と接する部分から進行してもよい。【選択図】図１ |
