Kombi-Elektrode für Antrieb, Antriebsdetektion, Coriolisdetektion und Quadraturkompensation

摘要

Es wird ein Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors mit einem Substrat und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen Struktur und mit mindestens einer an der Struktur befestigten ersten Elektrode und mit mindestens einer substratfesten zweiten Elektrode und mit mindestens einer substratfesten dritten Elektrode und mit mindestens einer an der Struktur befestigten vierten Elektrode und mit mindestens einer substratfesten fünften Elektrode und mit mindestens einer substratfesten sechsten Elektrode vorgeschlagen, wobei die erste Elektrode mindestens teilweise zwischen der zweiten Elektrode und der dritten Elektrode und die vierte Elektrode mindestens teilweise zwischen der fünften Elektrode und der sechsten Elektrode jeweils in einer Ruhelage der Struktur und entlang einer Richtung im Wesentlichen parallel zu einer ersten Achse angeordnet sind, wobei – in einem ersten Verfahrensschritt die Struktur aus einer Ruhelage der Struktur zu einer Schwingung mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu einer senkrecht zu der ersten Achse verlaufenden zweiten Achse während mindestens eines ersten Zeitintervalls innerhalb mindestens einer Schwingperiode der Schwingung angeregt wird.