摘要 |
遮光膜を除去するドライエッチングで生じる光半透過膜へのダメージを抑制したマスクブランクを提供する。透光性基板1の主表面上に光半透過膜2と遮光膜4が積層した構造を有するマスクブランク100であって、光半透過膜2はフッ素系ガスを含有するエッチングガスでのドライエッチングが可能な材料で形成され、遮光膜4は、下層41と上層42の積層構造を含み、下層41はタンタルを含有し、ハフニウム、ジルコニウムおよび酸素を実質的に含有しない材料で形成され、上層42は、ハフニウムおよびジルコニウムから選ばれる1以上の元素とタンタルを含有し、上層42の表層を除いた部分は酸素を実質的に含有しない材料で形成され、光半透過膜2と下層41の間に塩素系ガスを含有しかつ酸素ガスを含有しないエッチングガスでのドライエッチングに対して下層41との間でエッチング選択性を有する材料からなるエッチングストッパー膜3が設けられている。 |