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发明名称
照度計、光照射装置および照度測定方法
摘要
【課題】光源から放射される紫外光を含む光のうち、紫外光領域の光の照度を適切に測定することができる照度計、光照射装置および照度測定方法を提供する。【解決手段】照度計40は、紫外光領域から可視光領域までの範囲にスペクトルを有する入射光のうち、測定対象である紫外光領域の光の照度を測定する。照度計40は、上記の入射光を入射し、当該入射光に含まれる紫外光のみを反射する反射部材48aと、反射部材48aによって反射された反射光を受光し、当該反射光の照度を測定する受光部41と、を備える。【選択図】 図5
申请公布号
JP2017044537(A)
申请公布日期
2017.03.02
申请号
JP20150166089
申请日期
2015.08.25
申请人
ウシオ電機株式会社
发明人
新堀 真史
分类号
G01J1/02;G01J1/58;G03F7/20
主分类号
G01J1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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