摘要 |
【課題】データの信頼性を向上することが可能な半導体記憶装置を提供する。【解決手段】半導体記憶装置1は、選択トランジスタST1の一端に接続されたビット線BLと、選択トランジスタST2の一端に接続されたソース線CELSRCと、ウェルに接続されたウェル線CPWELLと、選択トランジスタST1、ST2、及びメモリセルトランジスタMTのゲートにそれぞれ接続された選択線SGD、SGS、及びワード線WLと、選択トランジスタST1の書き込み動作を行う制御回路14とを備え、前記書き込み動作において、選択線SGDにVpgmが印加される前に前記ビット線のプリチャージ動作が行われ、プリチャージ動作において、ワード線WL及び選択線SGSにVuselが印加され、ソース線CELSRC及びウェル線CPWELLにVuselより高いVblhが印加され前記第1選択線にVblhより低いVgが印加される。【選択図】図11 |