| 摘要 |
【課題】 水処理装置の再生式イオン交換装置の後段で使用される白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させるための白金族金属担持体の前処理方法を提供する。【解決手段】 超純水Ｗを第２の供給管路２から中継タンク３に供給し、循環ポンプ８を稼働して循環管路４を循環させる。このとき熱交換により中継タンク３中の超純水Ｗが所定の温度となるまで循環管路４を循環させ加温し温超純水を調製し、この温超純水を前処理塔６に供給して白金族金属担持体を前処理する。次に常温の超純水を前処理塔６に供給して同様に白金族金属担持体を前処理する。これを３〜５回繰り返す。【選択図】 図１ |
