| 摘要 |
【課題】流体通路の気密性を確保したまま、容易に交換可能なアクチュエータ部を備えたバルブを提供する。【解決手段】バルブ１は、ボンネット１１が延びる方向に沿って複数に分割して構成され、ボディ２に対し近接および離間可能にボンネット１１に支持され、ダイヤフラム１３を変形可能なステム１６と、ボンネット１１に対し着脱可能に設けられるケーシング２１と、前記ケーシング内に設けられステム１６をダイヤフラム１３に向かって付勢するコイルばね３２と、ケーシング２１をボンネット１１に対し係止するナット２２とを備え、ステム１６を駆動するアクチュエータ部２０と、を備える。【選択図】図１ |
