| 摘要 |
【課題】高温で使用する流体制御器のアクチュエータの冷却を手間および費用を抑えて行うことができる流体制御器用アクチュエータ、冷却用ジャケット及び流体制御器を提供する。【解決手段】 ケーシング3に着脱可能に取り付けられ、ケーシング3との間に冷却流体を導通させる空間42を形成するジャケット41を備えている。冷却流体を導通させる空間42に、螺旋状とされたフレキシブルチューブ43が配されている。フレキシブルチューブ43の一端に入口継手44が、フレキシブルチューブ43の他端に出口継手45がそれぞれ設けられている。【選択図】 図１ |
