| 摘要 |
【課題】測定対象物の表面粗さや表面形状を正確な測定位置で測定することができる。【解決手段】測定対象物を載置する載置部１２と、前記載置部に載置された前記測定対象物の測定基準位置を含む領域を観察するアライメント顕微鏡３６と、前記アライメント顕微鏡によって観察された前記測定基準位置を含む領域の画像を撮像する撮像部２６と、前記撮像部により撮像された画像の画像データから前記測定基準位置を検出する検出部と、前記検出部により検出された前記測定基準位置に基づいて基準座標系を作成する基準座標作成部と、前記基準座標作成部により作成された前記基準座標系における前記測定対象物の所定の測定位置を指定する指定部と、前記指定部により指定された前記測定対象物の所定の測定位置の表面粗さ、及び表面形状の少なくとも一方を測定する測定部３８とを備える。【選択図】図２ |
