摘要 |
デバイス動作時の閾値電圧のばらつきを低減する。MOSトランジスタのチャネル領域41に対向して配置された絶縁体層を、シリコン窒化膜83とシリコン酸化膜83との積層構造と、MOSトランジスタのソース領域43への入力信号を反転させた信号をチャネル領域41に入力する反転信号入力部とを有し、反転信号入力部は、MOSトランジスタのゲート電極81に隣接してゲート電極81のチャネル領域41の延長上に形成された別のゲート電極82と、MOSトランジスタのソース領域43に入力する入力信号を、入力信号の入力値に応じて反転させるCMOS回路80とを有して、CMOS回路80で反転させた信号を別のゲート電極82に入力する。【選択図】図4 |