| 摘要 |
デバイスの性能を精度よく発揮させることができる電極対及びその作製方法と、デバイス用基板及びデバイスを提供する。電極対１０は、一方の電極１０Ａと他方の電極１２Ｂとがギャップ１７を有して向かい合うように同一面上に設けられており、一方の電極１２Ａと他方の電極１２Ｂとの向かい合う部分が、互いに近づくにつれてその面から遠ざかるように湾曲している。この電極対１０は、初期ギャップを有するように間隔をあけて種電極の対が形成された基板をサンプルとして準備し、サンプルを無電解メッキ液に浸漬する際、一定時間経過すると無電解メッキ液を交換し、その交換回数を調整することにより作製される。その結果、一方の電極１２Ａと他方の電極１２Ｂとの隙間を一定に保ちながら、対向する面を縦方向に調整することができる。 |
