| 摘要 |
【課題】 測定対象物の温度を精度良く取得することが可能であり、パッケージからの影響を織り込んだ温度換算を行うことが可能な温度検出装置及び温度検出方法を提供する。【解決手段】パッケージ内の赤外線センサと、センサチップの温度を検出する温度センサ素子と、赤外線センサの出力電圧をＶout、測定対象物の温度をＴbb、温度センサ素子の検出温度をＴth、測定対象物の温度を電圧に換算する係数をａ、温度センサ素子が測定対象物から受ける放射エネルギーの影響を検出温度Ｔthに基づいて電圧に換算する係数をｂ、温度センサ素子がパッケージから受ける放射エネルギーの影響を検出温度Ｔthに基づいて電圧に換算する係数をｄ、オフセット量をｃとしたとき、（１）式（Ｖout＝ａ×Ｔbb４＋ｂ×Ｔth４＋ｄ×Ｔth＋ｃ）に基づいて測定対象物の温度Ｔbbを演算する温度演算部を有する。【選択図】 図１ |
