光学式位置測定装置

摘要

【課題】汚染耐性を確保する。【解決手段】光学式位置測定装置は、測定方向に沿って延在し、インクリメンタル目盛およびアブソリュートコードを備える基準器、基準器に対して測定方向に沿って相対的に移動可能に配置された走査ユニット、光源、インクリメンタル目盛を光学式に走査する走査格子、および検出装置を含む走査ユニットを備える。検出装置は、インクリメンタル目盛を光学式に走査してインクリメンタル信号を生成するインクリメンタル方式検出器と、アブソリュートコードを光学式に走査してアブソリュート信号を生成するアブソリュート方式検出器とを共通の検出平面に備える。走査格子と検出平面との間に所定の垂線間隔が設けられ、インクリメンタル方式検出器のストライプパターンの周期性は、基準器および／または走査格子の領域に散乱汚染が生じた場合にはインクリメンタル信号の振幅およびアブソリュート信号の振幅が一様に低下するように選択される。【選択図】図１