发明名称 収容カセット
摘要 【課題】準備コストの増加を抑制し、加工装置での搬入出処理の煩雑化を抑制することが可能な収容カセットを提供する。【解決手段】第1の幅を有する第1板状物W1と、第1の幅より狭い第2の幅を有する第2板状物W2とを収容する収容カセット130であって、対面する一対の側壁10と、一対の側壁10の内側に対を成して配設され、第1板状物W1及び第2板状物W2の縁部を支持するガイドレール20と、から構成され、ガイドレール20は、第1板状物W1及び第2板状物W2を支持する支持面20a、20bが階段状に形成され、側壁10に沿って延在し、第1板状物W1を支持する第1支持部21、23と、第1支持部21、23と段差で区画され、該第2板状物W2を支持する第2支持部22、24と、を有する。【選択図】図2
申请公布号 JP2017045823(A) 申请公布日期 2017.03.02
申请号 JP20150166478 申请日期 2015.08.26
申请人 株式会社ディスコ 发明人 石井 茂;田中 英明;馬橋 隆之
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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