研磨工具及びその製造方法、並びに研磨装置

摘要

【課題】安価で効率よく研磨加工を行うことができる研磨工具を提供する。【解決手段】研磨工具１０は、結合剤を含まずに焼結された固定砥粒１１，１２からなり、前記固定砥粒１１，１２が、被加工物との間でメカノケミカル作用により被加工物を研磨する第１砥粒１１を主成分として含む。第１砥粒１１は、ＳｉＯ２（二酸化ケイ素）とすることができる。【選択図】図１