Vorrichtung zur Korrektur des Längsfehlers der chromatischen Aberration von Strahlung massebehafteter Teilchen

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Korrektur des Längsfehlers der chromatischen Aberration von Strahlung massebehafteter Teilchen umfassend mindestens eine Linse, mindestens einen Detektor und mindestens eine Blende mit einer Blendenöffnung, welche in der Größe veränderbar ist. Die Erfindung betrifft ferner Verfahren zur Korrektur der chromatischen Aberration.