| 摘要 |
フィルムの変形を軽減し、高精度化を可能にして、信頼性を確保できる赤外線温度センサ及びこの赤外線温度センサを用いた装置を提供する。赤外線温度センサ１は、赤外線を吸収するフィルム３と、このフィルム３を覆って保持するとともにフィルム３との間に密閉的な空間部２２ｃ、２４ｂを形成し、開口部２３ａを有して赤外線を導く導光部２３及び遮蔽壁２４ａを有して赤外線を遮蔽する遮蔽部２４を備えたケース１と、前記空間部と外部との通気性を許容する通気手段１１〜１７と、前記フィルム３上に配置され、前記導光部２３に対応する位置に配設された赤外線検知用感熱素子４と、前記フィルム３上に配置され、前記遮蔽部２４に対応する位置に配設された温度補償用感熱素子５とを備えている。 |
