| 摘要 |
半導体ウェーハからなる基板を収納して、全体が密閉された容器収容袋に収容された状態で輸送される基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体と、外装部品５と、を備える。容器本体２は、複数の基板を収納可能な基板収納空間を形成する本体内面と、基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部と、を有する。蓋体３は、蓋体内面と蓋体外面とを有する蓋体本体を備え、開口周縁部に対して着脱可能であり容器本体開口部を閉塞可能であり、容器本体開口部を閉塞しているときに、蓋体内面が本体内面と共に基板収納空間を形成する。外装部品５は、本体内面以外の容器本体２の部分、蓋体内面以外の蓋体本体の部分、のうちの少なくとも１つに装着される。外装部品５には、アニール処理が施されている。 |
