| 摘要 |
チャンバー内を指定された真空圧に維持できるようにすると共に、真空圧が最適に調整されたチャンバー内ではんだ付け処理できるようにしたはんだ付け装置は、図４に示すように、ワーク１を真空環境下ではんだ付け処理可能なチャンバー４０と、チャンバー４０内の真空圧を入力し設定する操作部２１と、チャンバー４０内を真空引きするポンプ２３と、チャンバー４０内の圧力を検出する圧力センサ２４と、この圧力センサ２４から出力されるチャンバー４０内の圧力検出信号Ｓ２４に基づいて設定された真空圧を調整すると共に設定された真空圧を所定時間保持するための制御部６１を備えるものである。 |
