半導体評価方法

摘要

【課題】単結晶あるいは多結晶シリコン中の炭素濃度の高感度検出方法を提供する。【解決手段】シリコンのバンドギャップ以上のエネルギービームを照射しつつ、波数１００−３００ｃｍ−１に生じる、炭素と水素の両方を同時に構成成分として含む複合体ドナーの光吸収スペクトルあるいは透過スペクトルを観測することを特徴とするシリコン中の炭素濃度評価方法。。【選択図】図３